一．无尘烘箱主要技术指标
1.1、温度范围： 室温＋30℃～200℃；升温速率：3-6℃/min
1.2、温度波动度：±0.5℃；
1.3、温度均匀度：100℃±2℃、200 ℃±4℃、250℃±5℃，（空载恒温20min后检测）；
1.4、工作室尺寸（单腔）：600（宽）*500（深）*600（高）mm；
1.5 、采用日本"富士"温度控制器，控制器液晶显示及设定、PID 自动演算、薄膜设定，精确度±0.3%FS；
1.6、洁净度（class）：100
1.7、功率：12.0KW
1.8、电源：380V/50Hz
二、 气流控制方式：
2.1、强制循环通风，控制系统根据设定之温度点通过PID自动运算输出的结果去控制加热器的输出量，最终达到平衡
2.2、气流循环装置：内置空调间、循环风道及通风电机；
2.3、加热方式：采用进口覆套式电热器（SHEATHED HEATER）无尘无氧化电热发生器。
2.4、隔板要求：每个腔体配二个隔板，用不锈钢板冲孔制成，隔板四边与箱体紧密接触。
三、无尘烘箱箱体结构
3.1、箱体外壁材料：外箱采用优质冷轧板喷塑，耐腐蚀，美观大方；
3.2、箱体内壁材料：采用优质不锈钢板全周氩弧焊，并经碱性苏打水清洁，有效防止机台本身灰尘的产生；
3.3、保温材料：采用特细超白玻璃纤维120K级高密度保温棉填充，有效地防止了热能浪费。
3.4、箱体为整体组合结构，顶部为电器控制柜，内装的电器控制系统，下部为腔体。电控柜外围的温度≦50度，可避免人员烫伤。
3.5、装有氮气接口，能将箱内空气排出，确保烘烤的硅片是在氮气中进行；(氮气流量计需安装在箱体的正面，进气口安装在箱体的后部，安装8mm管径的进气口。）
3.6、箱体内装有高效过滤器，有效过滤99.99％0.3um以上颗粒，达到更好洁净效果。
四、无尘烘箱测控系统：
4.1、控制面板：面板上功能标识齐全，设备的运行分别用“启动"“停止"来控制，各种状态指示齐全，有恒定运行指示、程序运行指示、加热指示、定时结束指示、超温指示
4.2、控制器要求：采用富士温度控制器，根据工艺要求可设置恒定温度运行，及多段程序编辑。
4.3、运行方式：程序运行、恒定运行（设备上默认程序运行）；
恒定运行时：设备装有电磁锁，设备运行时电磁锁动作将门锁住； 程序结束后，方可打开箱门。
4.4、采用独立的超温保护装置，确保温度不超限；当保护装置动作时自动切断加热电源并进行声光报警、超温保护控制仪采用LED显示控制器
4.5、电控柜超温保护及紧急开关。
4.6、降温方式：自然降温。
五、设备具有的 安全保护措施：
5.1、安全可靠的接地；
5.2、工作室超温保护；
5.3、加热器短路保护；
货期：20-25天
